
潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
ic芯片潔凈車間潔凈車間生產(chǎn)工藝流程:
一、ic產(chǎn)品的制造流程
1、制造單晶硅片
ic產(chǎn)品制造流程的第一步是制造單晶硅片,因為單晶硅片是用來制造IC的,單晶硅片的制造流程主要有拉晶、切割、研磨、拋光和清洗等五個步驟。
2、設計IC
主要就是ic電路的設計,把設計好的電路轉化為版圖,ic設計決定了ic產(chǎn)品的性能和穩(wěn)定性。
3、制作光罩
承接上一步,把設計好的ic電路版圖等比例縮小轉化到一塊玻璃板上。
4、制造ic
這是ic制造商需要負責的流程,指在單晶硅片上制作集成電路芯片,整個過程主要有蝕刻、氧化、擴散和化學氣相沉積薄膜以及金屬濺鍍等。
5、測試ic
ic制作完成之后,為了確保ic的質量,還需要進行測試,包括功能測試和質量測試。
6、封裝ic
封裝ic是ic制造的最后一步流程,是指晶圓點測后對IC進行封裝,主要的流程有晶圓切割,固晶、打線、塑封、切筋成形等。
二、ic產(chǎn)品制造需要注意的問題
1、產(chǎn)品的原材料的選擇
對于 IC制造商而言,影響產(chǎn)品的成材率,最關鍵的因素是產(chǎn)品原料的質量。因此在選擇產(chǎn)品原料時,一定要小心挑選,選擇那些產(chǎn)品質量好的。在購買原材料時,為了能及時發(fā)現(xiàn)問題,一定要有專業(yè)人士來挑選。由于專業(yè)人員對每一道工序的控制都很嚴格,對于可能出現(xiàn)的問題也有一定的預警,所以在對原材料的選擇上比較有經(jīng)驗。
2、工藝流程的把控
對產(chǎn)品的原料確定后,在生產(chǎn)工藝過程中,最重要的是對工藝的控制,對于 IC制造商來說,流程需要嚴格按照相關標準進行,如果出現(xiàn)了問題,會對產(chǎn)品的質量產(chǎn)生影響,導致整個產(chǎn)品不能通過檢驗。
3、產(chǎn)品的包裝問題
產(chǎn)品包裝對產(chǎn)品的影響相對較小,但也是一個不容忽視的環(huán)節(jié)。對于IC制造商來說,產(chǎn)品包裝需要精心設計,選擇材料好、耐用的包裝。
電子潔凈車間潔凈車間建設方案簡要:
電子芯片業(yè)無塵車間潔凈室:
1、潔凈度等級要求高,風量、溫度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設計或規(guī)范受控,另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。
2、其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來說,電子廠房的溫度應控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關溫濕度規(guī)定)。 這時可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。
3、芯片生產(chǎn)車間無塵室、集成電路無塵車間潔凈室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質的要求極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。
4、電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應大于65dB(A)
5、電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。
6、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa
7、電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值:
8、補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
9、保證供給無塵車間潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
10、電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調系統(tǒng)加熱器,應設置新風,超溫斷電保護,若采用點加濕時應設置無水保護,寒冷地區(qū),新風系統(tǒng)應設置防凍保護措施。無塵室的送風量,
應取下面三項最大值:
1:保證電子制造廠無塵車間潔凈室空氣潔凈度等級的送風量;
2:根據(jù)熱,濕負荷計算確定電子廠無塵車間潔凈室的送風量;
3:向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。
詳細設計要點請聯(lián)系合潔科技半導體車間建設工程師
潔凈車間工程示例如下: